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成都米特尔德科技有限公司
联系人:黄碧成 先生 (经理)
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MT-600X多通道配气混合系统装置

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详细说明

    应用领域

半导体行业  特种材料冶炼  医学行业  环保行业 食品保鲜行业  微电子工艺设备 精密浓度传感器工艺 化学化工等等…

基本参数

    先进的结构,细节的优化。保证仪器准确,稳定,可靠

功能 多通道气体配比装置

基本型号 MT系列

配比范围 1PPM以上(定制)

精度(%) ±1

控制阀动作形式 长闭式

线性(%F.S) ±0.5

重复精度(%F.S) ±0.2

响应时间(sec) ≤1

设备输出信号 RS232或RS485

电器接头 DB15pin  DB14pin  DB9pin 接头

工作环境 5-55(℃)

工作压差 0.05-0.5MPA

漏率 1X10-7SCCMHe

zui大耐压 3MPA  10MPA

介质接触材质 304  316  316L

密封材料 氟橡胶,硅橡胶,丁晴橡胶,聚四氟乙烯,金属密封性

接头尺寸 Swagelok 1/8 , 1/4 ,3/8,或φ3,φ6,φ8 φ10 φ12

电源要求 220V, 2

 
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