概要:
MT-50A系列气体质量流量控制器(Mass Flow Controllr ,简称MFC)利用温差量热法原理,可对气体的质量流量精密测量和控制,用这种方法测出来的气体流量可以忽略温度和压力的影响.
本产品采用中国人民共和国和电子行业标准SJ/T10583-94以及SJ37所规定的通用的技术条件和命名方法
特点:
模拟式热质式流量计/流量控制器:
环境温度补正
可应用的流率范围广:
0~30, 50, 100, 150, 200SLM
应用:
工业设施的气体供应监测/控制。 气体分析设备。
固定气体流量控制。 气体混合或分离设备
精度±2%F.S
可选用LF系列控制模块,具有数位显示、电源供应、流量设定等功能
国际兼容
标准:
MFC出厂长用(N2)标定质量流量的单位规定为SCCM(标准毫升/分)SLM(标准升/分)
标准状态规定为:
标准温度………………0℃(273.15K)
标准压强………………101325Pa (760mmHg)F.S(Full Scale):满量程 输入输出:
输入设定电压…………4~20MA 输出电压检测…………4~20MA
供 电 要 求 …………24VDC
流量范围是以mL/min,L/min 为单位
例:
5mL/min 表示为005
500mL/min表示为500
50 L/min(nor) 表示为50L
功能 流量计/控制器
基本型号 MT-50A
标准量程 SLM 0~ 50, 100, 150, 200,
精度 ±2%
控制阀动作型式 常闭式
线性(%F.S.) ±0.5~1(≤15SLM)
±2%(>15SLM.)
重复精度(%F.S.) ±0.2
响应时间(sec) ≤1
流量输出信号 4-20MA
流量设定信号 4-20MA
电器接头 DB15 pin(接头)
工作环境温度 (℃) 5~45
工作压差 (MPa) 0.1~0.5
漏率 SCCSHe 1×10-8
******耐压 3MPa
介质接触材质 304,316,316L
密封材料 氟橡胶,硅橡胶,丁腈橡胶,聚四氟乙烯
接头尺寸 VCR 1/4、1/2 8mm 、10mm、12mm
Swagelok1/8”、1/2”或φ12mm
电源要求 24VDC
功能 流量计/控制器
基本型号 MT-50A
标准量程 SLM 0~ 50, 100, 150, 200 |